| ファイル情報(添付) | |
| タイトル ( jpn ) |
Atomic Scale Insights into Si Transport Pathway in Si-oxide Film Based on Theoretical Investigation of Medium Density Effects
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| 著者 |
Akiyama Toru
Graduate School of Engineering, Mie University
Shiraishi Kenji
Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University / Graduate School of Engineering, Nagoya University
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| 収録物名 |
e-Journal of Surface Science and Nanotechnology
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| 巻 | 23 |
| 号 | 3 |
| 開始ページ | 306 |
| 終了ページ | 313 |
| 収録物識別子 |
PISSN 1348-0391
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| 言語 |
英語
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| 資源タイプ | 学術雑誌論文 |
| 出版者 |
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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| 発行日 | 2025-07-17 |
| 権利関係（リンク） | Atomic Scale Insights into Si Transport Pathway in Si-oxide Film Based on Theoretical Investigation of Medium Density Effects © 2025 by Kageshima Hiroyuki / Akiyama Toru / Shiraishi Kenji is licensed under CC BY 4.0  |
| 出版タイプ | Version of Record（出版社版。早期公開を含む） |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 関連情報 |
[DOI]
10.1380/ejssnt.2025-043
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