Bismuth-assisted low-temperature growth of flexible GaSb thin films by multi-cathode RF magnetron sputtering

Journal of Materials Science 58 巻 11174-11186 頁 2023-07-05 発行
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ファイル情報(添付)
タイトル ( eng )
Bismuth-assisted low-temperature growth of flexible GaSb thin films by multi-cathode RF magnetron sputtering
著者
Nishimoto Naoki
収録物名
Journal of Materials Science
58
開始ページ 11174
終了ページ 11186
収録物識別子
PISSN 0022-2461
EISSN 1573-4803
言語
英語
資源タイプ 学術雑誌論文
出版者
Springer Nature
発行日 2023-07-05
出版タイプ Accepted Manuscript(出版雑誌の一論文として受付されたもの。内容とレイアウトは出版社の投稿様式に沿ったもの)
アクセス権 オープンアクセス
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