水素イオンを注入したゲルマニウムのDLTS測定

島根大学理学部紀要 17 巻 23-30 頁 1983-12-25 発行
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ファイル情報(添付)
c0010017r004.pdf 1.09 MB エンバーゴ : 2001-09-29
タイトル
水素イオンを注入したゲルマニウムのDLTS測定
タイトル
DLTS Measurements on Hydrogen Implanted Germanium
タイトル 読み
スイソ イオン オ チュウニュウシタ ゲルマニウム ノ DLTS ソクテイ
著者
伊藤 一義
伊藤 隆
Corbett James W.
収録物名
島根大学理学部紀要
Memoirs of the Faculty of Science, Shimane University
17
開始ページ 23
終了ページ 30
収録物識別子
ISSN 03879925
内容記述
その他
Deep levels introduced by 50 KeV hydrogen ions or 1.5 MeV electrons in undoped germanium have been studied using deep level transient spectroscopy. Five hole traps have been observed after implantation. The energy levels associated with these traps, their cross sections and their annealing behaviours have been determined. The two trap levels at E_v + 0.38 eV and at E_v +0.42 eV annealed at the same temperature, and they are attributable to the defect levels associated with divacancy-hydrogen complex.
言語
英語
資源タイプ 紀要論文
出版者
島根大学理学部
The Faculty of Science, Shimane University
発行日 1983-12-25
アクセス権 オープンアクセス
関連情報
[NCID] AN00108106