シリコンテクノロジーの新しい可能性 : 多孔質シリコンの特性とその応用

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File
c0040032r007.pdf 2.53 MB エンバーゴ : 2002-05-18
Title
シリコンテクノロジーの新しい可能性 : 多孔質シリコンの特性とその応用
Title
New Prospects of the Silicon Technology : Properties of Porous Silicon and their Application to New Electron Devices
Title Transcription
シリコン テクノロジー ノ アタラシイ カノウセイ タコウシツ シリコン ノ トクセイ トソノ オウヨウ
Creator
Harada Hiroshi
Source Title
島根大学総合理工学部紀要. シリーズA
Volume 32
Start Page 97
End Page 110
Journal Identifire
ISSN 13427113
Descriptions
Porous silicon has versatile applications for electron devices,because of its properties of quantum confinement of carriers and/or the porous nature of the structure. This paper reviews the formation mechanism of porous silicon, the mechanism of photoluminescence still under debate and possible new electron devices. Illustrative devices of both the light emittmg diode and the micro field emitter which are carried out by author are also shown.
Language
jpn
Resource Type departmental bulletin paper
Publisher
島根大学総合理工学部
Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University
Date of Issued 1998-12-24
Access Rights open access
Relation
[NCID] AA11157087
Remark 30-41+ / 1997-2007