| ファイル情報(添付) | |
| タイトル |
有機金属気相成長法によるZnO薄膜の成長
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| タイトル |
The Growth of ZnO Films by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
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| タイトル 読み |
ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニヨル ZNO ハクマク ノ セイチョウ
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| 著者 | |
| 収録物名 |
島根大学総合理工学部紀要. シリーズA
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| 巻 | 35 |
| 開始ページ | 107 |
| 終了ページ | 112 |
| 収録物識別子 |
ISSN 13427113
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| 内容記述 |
その他
Zn0 films have been grown by photo−assisted metalorganic chemical vapor deposition with the use of dimethylzinc and diethylether as source materials. The reaction and the decomposition of source materials were observed by in situ measurements of ultraviolet photo-absorption spectra. Specula surface was obtained at the growth temperature of 400～480℃.
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| 言語 |
日本語
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| 資源タイプ | 紀要論文 |
| 出版者 |
島根大学総合理工学部
Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University
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| 発行日 | 2001-12-24 |
| アクセス権 | オープンアクセス |
| 関連情報 |
[NCID] AA11157087
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| 備考 | 30-41+ / 1997-2007 |
