ゲルマニウム中の酸素の関係する点欠陥に対する水素パシベーション

島根大学理学部紀要 23 巻 73-77 頁 1989-12-25 発行
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ファイル情報(添付)
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タイトル
ゲルマニウム中の酸素の関係する点欠陥に対する水素パシベーション
タイトル
Hydrogen Passivation of Oxygen-Related Defects in Germanium
タイトル 読み
ゲルマニウム チュウ ノ サンソ ノ カンケイ スル テン ケッカン ニタイスル スイソ バシベーション
著者
伊藤 一義
伴 千治
収録物名
島根大学理学部紀要
Memoirs of the Faculty of Science, Shimane University
23
開始ページ 73
終了ページ 77
収録物識別子
ISSN 03879925
内容記述
その他
Thermal donors in undoped germanium were produced by heat treatment at 350℃ for 200h, and the level position for the thermal donors was tentatively estimated to be 0.36 eV from the conduction band. When the sample was subsequently implanted with 25 keV hydrogen,concentration of the level associated with the thermal donors was drastically reduced and the position of DLTS peak corresponding to the level shifted to lower temperature. The restoration of the neutralized thermal donor electrical activity began after a 15 min annealing at 200℃ and essentially completed after annealing at 280℃.
言語
英語
資源タイプ 紀要論文
出版者
島根大学理学部
The Faculty of Science, Shimane University
発行日 1989-12-25
アクセス権 オープンアクセス
関連情報
[NCID] AN00108106