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タイトルヨミ
ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニヨル ZNO ハクマク ノ セイチョウ
日本語以外のタイトル
The Growth of ZnO Films by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
ファイル
言語
日本語
著者
内容記述(抄録等)
Zn0 films have been grown by photo−assisted metalorganic chemical vapor deposition with the use of dimethylzinc and diethylether as source materials. The reaction and the decomposition of source materials were observed by in situ measurements of ultraviolet photo-absorption spectra. Specula surface was obtained at the growth temperature of 400~480℃.
掲載誌名
島根大学総合理工学部紀要. シリーズA
35
開始ページ
107
終了ページ
112
ISSN
13427113
発行日
2001-12-24
NCID
AA11157087
出版者
島根大学総合理工学部
出版者別表記
Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University
資料タイプ
紀要論文
部局
(旧組織)大学院総合理工学研究科
備考
30-41+ / 1997-2007
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