タイトルヨミ | ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニヨル ZNO ハクマク ノ セイチョウ
|
日本語以外のタイトル | The Growth of ZnO Films by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
|
ファイル | |
言語 |
日本語
|
著者 | |
内容記述(抄録等) | Zn0 films have been grown by photo−assisted metalorganic chemical vapor deposition with the use of dimethylzinc and diethylether as source materials. The reaction and the decomposition of source materials were observed by in situ measurements of ultraviolet photo-absorption spectra. Specula surface was obtained at the growth temperature of 400~480℃.
|
掲載誌名 |
島根大学総合理工学部紀要. シリーズA
|
巻 | 35
|
開始ページ | 107
|
終了ページ | 112
|
ISSN | 13427113
|
発行日 | 2001-12-24
|
NCID | AA11157087
|
出版者 | 島根大学総合理工学部
|
出版者別表記 | Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University
|
資料タイプ |
紀要論文
|
部局 |
(旧組織)大学院総合理工学研究科
|
備考 | 30-41+ / 1997-2007
|
他の一覧 |