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タイトルヨミ
ヒカリ レイキ ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニヨル ZNSE ノ セイチョウ メカニズム ト ヒカリ ショクバイ コウカ
日本語以外のタイトル
The growth mechanism of ZnSe by photo-assisted metalorganic chemical vapor deposition and photo-sensitization effect
ファイル
言語
日本語
著者
内容記述(抄録等)
The epitaxial layers of ZnSe have been grown by photo-assisted metalorganic che㎜cal vapor deposi tion with the use of dimethylzinc and dimethylselenide as sourse materials and the growth mechanism has been investigated. The decomposition of source materiais were observed by in site measurements of ultraviolet photo-absorption spectra. The results show that dimethylzinc is decomposed by the reaction with hydrogen molecule and dimethylselenide is decomposed by photo-sensitization effect on the surface of ZnSe. New reaction models are proposed.
掲載誌名
島根大学総合理工学部紀要. シリーズA
33
開始ページ
89
終了ページ
99
ISSN
13427113
発行日
1999-12-24
NCID
AA11157087
出版者
島根大学総合理工学部
出版者別表記
Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University
資料タイプ
紀要論文
部局
(旧組織)大学院総合理工学研究科
備考
30-41+ / 1997-2007
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